容器組件
FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品名稱:FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品型號(hào):FF-40HT1型
- 產(chǎn)品廠商:IWAKI 易威奇
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簡(jiǎn)單介紹
FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
的詳細(xì)介紹FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
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FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
FF-40HT1 化學(xué)溶液補(bǔ)給泵 IWAKI 易威奇
簡(jiǎn)單介紹:
化學(xué)溶液補(bǔ)給泵| CFD 每次注射1 mL,點(diǎn)膠性能大幅提升 通過(guò)將排出量設(shè)定為每次注射1mL,與常規(guī)分配性能相比,分配性能顯著提高。 通過(guò)在必要時(shí)注入必要的*小量,可以高精度地執(zhí)行晶片清潔溶液的濃度控制。 此外,可以抑制濃度的過(guò)沖,這導(dǎo)致洗滌溶液的成本降低。 另外,內(nèi)置虹吸防止機(jī)構(gòu)以防止化學(xué)液體流出。
詳情介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
提高點(diǎn)膠性能:通過(guò)將排出量設(shè)定為每次注射1mL,與常規(guī)分配性能相比,分配性能顯著提高。 通過(guò)在必要時(shí)注入必要的*小量,可以高精度地執(zhí)行晶片清潔溶液的濃度控制。 此外,可以抑制濃度的過(guò)沖,這導(dǎo)致洗滌溶液的成本降低。 另外,內(nèi)置虹吸防止機(jī)構(gòu)以防止化學(xué)液體流出。
耐腐蝕結(jié)構(gòu)儀表:潤(rùn)濕部分由全氟聚合物(PTFE,PFA,PCTFE)制成,并且它可以對(duì)應(yīng)于用于半導(dǎo)體應(yīng)用的化學(xué)品,例如酸,堿和過(guò)氧化氫。 此外,泵的外部采用樹(shù)脂(PTFE,PFA,PP,PVC)和PTFE涂層螺釘,具有高耐腐蝕結(jié)構(gòu)。它對(duì)應(yīng)于寬放電設(shè)置:通過(guò)拆下泵底部的蓋子可以很容易地調(diào)整行程長(zhǎng)度。 每次注射*多可放電2.7 mL。 (出貨時(shí),1毫升/次)
泄漏傳感器標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備:泄漏傳感器即使在破碎的波紋管作為標(biāo)準(zhǔn)配置時(shí)也能快速響應(yīng)。
產(chǎn)品規(guī)格
一般規(guī)格 | |
用途 | 薬液補(bǔ)充用途 |
排出量 | 1mL/shot |
*大排放壓力 | 0.05MPa |
處理液體溫度范圍 | 20~60℃ |
*大沖程數(shù) | 30spm |
供氣壓力 | 0.15~0.3MPa |
*大耗氣量 | 2.5NL/min |
接液部件材料 | PTFE、PFA、PCTFE |
泵連接端口直徑 | 1/4”PFAチューブ(φ6.35×4.35) |
供氣連接口直徑 | Rc1/8 |
重量 | 1.1kg |
光傳感器規(guī)格 | |
形式 | 透射式微光電傳感器 |
電源電壓 | 5~24V DC±10% |
輸出格式 | NPN晶體管·集電極開(kāi)路 |
允許電流 | 50mA以下 |
代碼 |
PVC 4芯電纜外徑φ5.2mm電纜長(zhǎng)度5 m帶圓形端子(0.5 - 4) |