日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列

產(chǎn)品名稱：日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列
產(chǎn)品型號：SDL3600
產(chǎn)品廠商：日本KASHIYAMA柏山真空泵
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簡單介紹

日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列 KASHIYAMA真空泵SDL Series系列可用于大尺寸晶圓和FPD。通過組合提供大容量。大于150kl/min也可按需提供。更短的周期時間。大容量atm左右，可實(shí)現(xiàn)高壓泵送。適用于大型L/L箱。溶劑抽空泵也排好了。 SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600

日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列

的詳細(xì)介紹

日本KASHIYAMA柏山真空泵SDL系列

SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600

*1. N2未使用**時的值。

*排氣性能曲線可能會根據(jù)組合而變化。

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SDE-TX系列

SDE系列專注耐久性/耐腐蝕

SDE120TX,SDE303TX,SDE603TX,SDE1203TX,SDE20M12TX,SDE30M12TX

SDE-X系列

節(jié)能模式/標(biāo)準(zhǔn)型耐用/能量消耗1.3kW

SDE90X，SDE303X，SDE603X，SDE1203X，SDE20M09X，SDE30M09X

SDE系列

大容量/*高可達(dá)200kL/min/耐受各種過程

SDE1220，SDE20M20，SDE30M20，SDE4060，SDE4030M20，SDE8060，SDE804060

SDL系列

更短的循環(huán)時間/用于溶劑排空的泵

SDL12E50，SDL20E50，SDL36M60，SDL40E60，SDL40E201，SDL40EW201，SDL80201

MU-X系列

適用于各種場合/清潔泵

MU100X，MU180X，MU300X，MU600X，MU1200X，MU20M18X

MU-P/H系列

超低功耗/工藝耐久性/高溫，更清潔

MU100P/H，MU180P/H，MU300P/H，MU600P/H，MU1200P/H，MU20M18P/H

NeoDry系列

便攜式和風(fēng)冷式干泵

無需更換密封墊，不會損壞性能，無顆粒！沒有油煙，沒有污染，3年無需更換泵

NeoDry7E，NeoDry15E，NeoDry30E，NeoDry36E，NeoDry60E，NeoDry300E

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