HORIBA堀場(chǎng)制作所 自動(dòng)供液系統(tǒng)
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場(chǎng)制作所 自動(dòng)供液系統(tǒng)
- 產(chǎn)品型號(hào)：LU-A1000
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)制作所
- 產(chǎn)品文檔：
HORIBA堀場(chǎng)制作所 自動(dòng)供液系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場(chǎng)制作所 自動(dòng)供液系統(tǒng)LU-A1000
HORIBA堀場(chǎng)制作所 自動(dòng)供液系統(tǒng)LU-A1000
HORIBA堀場(chǎng)制作所 自動(dòng)供液系統(tǒng)LU-A1000
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LU 系列以不間斷、**和可靠的方式將液態(tài)化學(xué)品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。這增加了正常運(yùn)行時(shí)間，減少了操作人員手動(dòng)操作和制程污染的風(fēng)險(xiǎn)。
LU 系列提供自動(dòng)執(zhí)行殘余液體清洗程序的功能。
使用 LU 系列提高了供液能力和保養(yǎng)效率。
概要
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蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
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可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
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LU-A1000 系列設(shè)計(jì)緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
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日常維護(hù)時(shí)輕松更換部件
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脫氣器模塊為標(biāo)準(zhǔn)配置，可降低液體鼓泡風(fēng)險(xiǎn)，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應(yīng)用
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**標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2/S8/S14, CE 標(biāo)志
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**改善：多樣化的監(jiān)視設(shè)備提供全自動(dòng)控制。LU-A1000 系列配備了自動(dòng)緊急關(guān)機(jī)功能，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障，該功能將被啟動(dòng)
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可操作性改進(jìn)：操作步驟全自動(dòng)化，防止操作失誤。操作也可以通過設(shè)備前端的觸控面板來控制
