HORIBA堀場制作所 先進(jìn)原子力顯微鏡SmartSPM

HORIBA堀場制作所 先進(jìn)原子力顯微鏡SmartSPM

HORIBA堀場制作所 先進(jìn)原子力顯微鏡SmartSPM

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

SmartSPM掃描探針顯微鏡是**個100%自動化的系統(tǒng)，它為所有AFM和STM模式下的納米級先進(jìn)材料研究提供了快速、計量和高分辨率測量的**技術(shù)。SmartSPM可以從達(dá)到100μm范圍掃描到原子級分辨率掃描。它能夠與光學(xué)光譜（SNOM、Raman、光致發(fā)光和TERS/SERS技術(shù)）無縫耦合。

概要

操作完全自動化

全自動激光-光電二極管準(zhǔn)直

更換針尖簡單方便

豐富的各種測量模式

系統(tǒng)調(diào)試速度快

分辨率/穩(wěn)定性/**度

閉環(huán)平板掃描器即可實現(xiàn)100μm大范圍掃描，也可實現(xiàn)分子/原子分辨率掃描。

標(biāo)準(zhǔn)測量無需隔振系統(tǒng)。

低噪音傳感器設(shè)計保證了在分子分辨率成像過程中也能打開閉環(huán)，獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。

快速掃描

采用業(yè)界*高的高共振頻率掃描器（XY>7kHz和 Z>15kHz），優(yōu)化的掃描器控制算法可以輕松實現(xiàn)快速掃描。

標(biāo)配幾乎所有SPM模式，無需添加任何附件和額外成本

包括開爾文探針顯微鏡，壓電響應(yīng)力顯微鏡，納米蝕刻和納米操縱。

輕松升級到納米拉曼光譜儀

SmartSPM無論從軟件設(shè)計到硬件設(shè)計都能與拉曼系統(tǒng)進(jìn)行無縫的耦合。

配置

測量模式

?空氣中接觸AFM；

?液體接觸AFM（可選）；

?空氣中的半接觸原子力顯微鏡；

?液體半接觸原子力顯微鏡（可選）；

?真正的非接觸式原子力顯微鏡；

?動態(tài)力顯微鏡（DFM、FM-AFM）；

?耗散力顯微鏡；

?Top模式；

?相位成像；

?側(cè)向力顯微鏡（LFM）；

?力調(diào)制；

?導(dǎo)電原子力顯微鏡（可選）；

?I-Top模式（可選）；

?磁力顯微鏡（MFM）；

?開爾文探針（表面電位顯微鏡）；

?單通開爾文探頭；

?電容顯微鏡（SCM）

?電力顯微鏡（EFM）；

?單通道MFM/EFM（“平面掃描”）；

?力曲線測量；

?壓電響應(yīng)力顯微鏡（PFM）；

?PFM Top模式；

?納米光刻技術(shù)；

?納米操縱；

?STM（可選）；

?光電流成像模式（可選）；

?伏安特性測量（可選）；

?帶音叉的剪切力顯微鏡（ShFM）；

?音叉法向力顯微鏡。

SmartSPM掃描器和基座

閉環(huán)平板掃描器： 100 μm x 100 μm x 15 μm (±10 %)

掃描器非線性：XY≤0.05 %; Z≤0.05 %

噪聲水平：XY≤0.1 nm RMS（200 Hz帶寬，電容傳感器打開）；XY≤0.02 nm RMS（100 Hz帶寬，電容傳感器關(guān)閉）；Z<0.04 nm RMS （1000 Hz帶寬，電容傳感器開）

高頻掃描器：XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz

X, Y, Z自動趨近：XYZ數(shù)字閉環(huán)控制，Z向馬達(dá)趨近距離18mm

樣品尺寸：40 mm x 50 mm x 15 mm

樣品定位：自動樣品臺范圍：5 mm x 5 mm

定位精度：1μm

AFM測試頭HE001

激光波長：1300nm

激光對生物樣品無影響；

激光對光電測量無影響

系統(tǒng)噪聲：< 0.03 nm

全電動：4步進(jìn)電機(jī)用于懸臂和光電二極管自動對準(zhǔn)；

探針通道：為外部操作和探針提供自由通道

頂部和側(cè)向同時光路通道：帶平消色差物鏡，可同時10x，NA0.28頂部物鏡和20x，NA0.42側(cè)向物鏡；

AFM測試頭HE002

激光波長：1300nm

激光對生物樣品無影響；

激光對光電測量無影響；

系統(tǒng)噪聲：< 0.1 nm

全電動：4步進(jìn)電機(jī)用于懸臂和光電二極管自動對準(zhǔn)；

探針通道：為外部操作和探針提供自由通道；

頂部和側(cè)向同時光路通道：帶平消色差物鏡，可同時高達(dá)100x，NA0.7側(cè)向物鏡和10x，NA0.28頂部物鏡

 *HE002不兼容液體模式。

光學(xué)顯微鏡

數(shù)值孔徑：NA 0.1；

放大倍率：從85x到1050x（19英寸監(jiān)視器，1/3英寸CCD）；

水平視野：4.5～0.37mm；

手動變焦：12.5倍（電動變焦可選）；

粗/精對焦單元：

兼容平顯色差物鏡：10x，NA 0.28和20x，NA 0.42和100x，NA0.7（取決于AFM測試頭）；

液體池（可選）

樣品尺寸：φ25mm×2mm；

樣品定位范圍：5 mm x5mm；

定位分辨率：1um；

液體池尺寸：40mm x40mm x12mm；

液體體積：3ml；

液體可交換；

高壓**器和超聲波清洗溶液池部件。

溫控液體池（可選）

樣品尺寸：φ25mm×2mm；

加熱：*高60℃；

冷卻：室溫以下降至5℃；

樣品定位范圍：5 mm x5mm；

定位分辨率：優(yōu)于1.5um；

液體池尺寸：40 mm x40 mm x12mm；

液體體積：3ml；

液體可交換；

高壓**器和超聲波清洗液體池部件。

導(dǎo)電力AFM（選購）

電流范圍：100fA~10μA;三檔量程自動切換（1 nA, 100 nA 和 10 μA）

電壓范圍：-10~ +7V

電流噪聲：≤60fA（1nA量程）

導(dǎo)電力AFM和KPFM模式可自動切換

側(cè)向力和正交力音叉支架（可選）

兼容32,768kHz音叉；

兩種固定音叉的PCB；

音叉振動的壓電陶瓷激勵；

集成低噪聲前置放大器；

兼容側(cè)向100倍物鏡TERS\TEPL測量；

兼容頂部10x物鏡

納米壓痕裝置（可選）

*大載荷：5mN

負(fù)載噪聲：小于100nN

位移噪聲：小于0.2nm

光學(xué)系統(tǒng)的兼容性

紅外激光對光學(xué)成像無干擾；

可升級至OmegaScope，用于光譜、光電、SNOM和TERS&TEPL操作

帶光學(xué)顯微鏡支架的保護(hù)罩（可選）

隔聲：30dB；

具備靜電屏蔽功能；

具有環(huán)境控制輸入輸出接口；

100倍物鏡的精細(xì)聚焦（可選）：聚焦精度0.2mm；

濕度控制系統(tǒng)（可選）

相對濕度：10%-85%

濕度穩(wěn)定性：±1%

軟件系統(tǒng)

自動準(zhǔn)直系統(tǒng)；

自動配置標(biāo)準(zhǔn)測量技術(shù)；

自動調(diào)節(jié)懸臂梁共振頻率；

能夠處理力曲線；

宏語言Lua，用于編程用戶函數(shù)、腳本和小構(gòu)件；

能用DSP宏語言對控制器進(jìn)行實時編程，無需重新加載控制軟件；

在坐標(biāo)空間處理圖像的能力，包括制作橫截面、擬合和高達(dá)12級的多項式曲面減法；

FFT處理，具有在頻率空間處理圖像的能力，包括濾波和分析；

納米蝕刻和納米操縱；

高達(dá)5000x5000像素圖像的處理能力。