HORIBA堀場制作所 流量控制器
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場制作所 流量控制器
- 產(chǎn)品型號：D717T
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產(chǎn)品文檔：
HORIBA堀場制作所 流量控制器
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場制作所 流量控制器D717T
HORIBA堀場制作所 流量控制器D717T
HORIBA堀場制作所 流量控制器D717T
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*佳性能壓力不敏感質(zhì)量流量模塊
D700T是性能*佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊，專為關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝而設(shè)計。D700T采用HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，提供行業(yè)**的可重復(fù)和**的性能。此外，D700T的獨特之處在于采用**的先進流量控制算法和雙閥結(jié)構(gòu)，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多種挑戰(zhàn)。
概要
≤100msec全線快速穩(wěn)定時間（可設(shè)為“設(shè)置”、“升壓”、“降壓”）
進出口壓力不敏感性能
先進的故障檢測，診斷壓力傳感器移位，閥座泄漏和流量精度變化
在0.15%標(biāo)準(zhǔn)價格范圍內(nèi)可重復(fù)性
*佳精度規(guī)格在0.45% S.P.以內(nèi)*（標(biāo)準(zhǔn)：0.8% S.P.）
更寬的工作溫度范圍（15-60°C）
*注：D700T為單氣體配置。向堀場詢問規(guī)格。
＊1 Flow rate accuracy can be guaranteed down to 0.1 SCCM N2 equivalent.
＊2 This is guaranteed value under 25 ℃ and ≤ 1 × 10-3 Pa (A).
＊3 Setting time is MFC output signal and N2 gas at 25 ℃. Definition of setting time is 2 %S.P. or 0.05 %F.S. of the change in setting, whichever is larger. However, if the change in setting is less than 0.5 %F.S., 50 % of the change in setting.
＊4 Pressure perturbation has to be smaller than 20 % pressure change per second and ±70 kPa/sec. (±10 PSI/sec.)
＊5 Zero adjustment is required to eliminate orientation influence after installation.
＊6 EtherCAT® is a registered trademark and patented technology, licensed by Beckhoff Automation GmbH in Germany.