HORIBA堀場(chǎng)制作所 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X

HORIBA堀場(chǎng)制作所 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X

HORIBA堀場(chǎng)制作所 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

這是 HORIBA *暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場(chǎng)更改氣體類型或滿量程流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn)）、壓電閥、高速響應(yīng)和全金屬特性，可提高制程良率，簡(jiǎn)化零件管理。支持?jǐn)?shù)字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT® 通信模式。

概要

• 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)
  該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。

• 高速響應(yīng)
  裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。可變 PID 根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時(shí)優(yōu)化 PID 系數(shù)。

• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規(guī)格。一個(gè)重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質(zhì)量流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時(shí)間和成本。

SEC-Z500X 質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。閱讀我們的案例分析，了解 SEC-Z500X