容器組件
HORIBA堀場(chǎng) 性能壓力質(zhì)量流量計(jì)
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場(chǎng) 性能壓力質(zhì)量流量計(jì)
- 產(chǎn)品型號(hào)：D717T
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)制作所
- 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹
HORIBA堀場(chǎng)制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計(jì)D717T
HORIBA堀場(chǎng) 性能壓力質(zhì)量流量計(jì)
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場(chǎng)制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計(jì)D717T
HORIBA堀場(chǎng)制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計(jì)D717T
HORIBA堀場(chǎng)制作所 性能壓力不敏感質(zhì)量流量計(jì)D717T
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D700T是性能*佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊，專為關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝而設(shè)計(jì)。D700T采用HORIBA CRITERION基于壓力的流量測(cè)量和控制技術(shù)，提供行業(yè)**的可重復(fù)和**的性能。此外，D700T的獨(dú)特之處在于采用**的先進(jìn)流量控制算法和雙閥結(jié)構(gòu)，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多種挑戰(zhàn)。
概要
≤100msec全線快速穩(wěn)定時(shí)間（可設(shè)為“設(shè)置”、“升壓”、“降壓”）
進(jìn)出口壓力不敏感性能
先進(jìn)的故障檢測(cè)，診斷壓力傳感器移位，閥座泄漏和流量精度變化
在0.15%標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格范圍內(nèi)可重復(fù)性
*佳精度規(guī)格在0.45% S.P.以內(nèi)*（標(biāo)準(zhǔn)：0.8% S.P.）
更寬的工作溫度范圍（15-60°C）
*注：D700T為單氣體配置。向堀場(chǎng)詢問(wèn)規(guī)格。
配置
