HORIBA堀場(chǎng) 高響應(yīng)壓力質(zhì)量流量器
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場(chǎng) 高響應(yīng)壓力質(zhì)量流量器
- 產(chǎn)品型號(hào)：D727MG
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)制作所
- 產(chǎn)品文檔：
HORIBA堀場(chǎng) 高響應(yīng)壓力質(zhì)量流量器
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場(chǎng)制作所 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器D727MG
HORIBA堀場(chǎng)制作所 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器D727MG
HORIBA堀場(chǎng)制作所 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器D727MG
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關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造過(guò)程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)未來(lái)的**，以及**的存儲(chǔ)和邏輯設(shè)備的實(shí)驗(yàn)室到工廠的過(guò)渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號(hào)，以支持客戶的挑戰(zhàn)。
概要
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工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT
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為流程優(yōu)化提供靈活性
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100 ms 響應(yīng)速度和mfc到mfc的偏差控制
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提供高生產(chǎn)力和更大的過(guò)程性能
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小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
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為需要小流量的工藝提供靈活性
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PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能
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穩(wěn)定性性和較小的顆粒風(fēng)險(xiǎn)，減少停機(jī)時(shí)間和優(yōu)化產(chǎn)量
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狀態(tài)監(jiān)控功能
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為更智能的故障預(yù)測(cè)提供更多的內(nèi)部數(shù)據(jù)
配置
