容器組件
HORIBA堀場 壓差式質(zhì)量流量控制器
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場 壓差式質(zhì)量流量控制器
- 產(chǎn)品型號：D514MG+3 /D517MG+4
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 壓差式質(zhì)量流量控制器D514MG+3 /D517MG+4
HORIBA堀場 壓差式質(zhì)量流量控制器
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 壓差式質(zhì)量流量控制器D514MG+3 /D517MG+4
HORIBA堀場制作所 壓差式質(zhì)量流量控制器D514MG+3 /D517MG+4
HORIBA堀場制作所 壓差式質(zhì)量流量控制器D514MG+3 /D517MG+4
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這款技術(shù)先進的壓差式質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅(qū)動閥。
高性能 CRITERION D500 適用于一系列先進的半導(dǎo)體制程，具有壓力補償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能，高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點。
概要
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壓力不敏感性能
高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統(tǒng) -
多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍 -
G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能
先進的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內(nèi)完成測試。 -
高精度
先進的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度 -
快速響應(yīng)
響應(yīng)時間：< 0.8 秒
可實現(xiàn)**、穩(wěn)定的流量控制 -
動態(tài)范圍
控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程
配置
