容器組件
HORIBA堀場(chǎng) 腔室清洗監(jiān)測(cè)的氣體監(jiān)測(cè)儀
- 產(chǎn)品名稱(chēng)：HORIBA堀場(chǎng) 腔室清洗監(jiān)測(cè)的氣體監(jiān)測(cè)儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：IR-200
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)制作所
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簡(jiǎn)單介紹
HORIBA堀場(chǎng)制作所 腔室清洗監(jiān)測(cè)的氣體監(jiān)測(cè)儀IR-200
HORIBA堀場(chǎng) 腔室清洗監(jiān)測(cè)的氣體監(jiān)測(cè)儀
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場(chǎng)制作所 腔室清洗監(jiān)測(cè)的氣體監(jiān)測(cè)儀IR-200
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更多詳情咨詢(xún)：13024103468 劉經(jīng)理
IR-200 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)四氟化硅（SiF4）氣體濃度，并根據(jù) SiF4 氣體濃度確定清洗終點(diǎn)。
概要
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監(jiān)測(cè)高達(dá) 5000 ppm 的 SiF4 濃度
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緊湊設(shè)計(jì)
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可安裝至排氣管路
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除 SiF4 外，該氣體監(jiān)測(cè)儀還可用于測(cè)量 CIF3 和其他氣體。
配置
