容器組件
HORIBA堀場 腔室清洗氣體監(jiān)測儀
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場 腔室清洗氣體監(jiān)測儀
- 產(chǎn)品型號：IR-422
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監(jiān)測儀IR-422
HORIBA堀場 腔室清洗氣體監(jiān)測儀
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監(jiān)測儀IR-422
HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監(jiān)測儀IR-422
HORIBA堀場制作所 腔室清洗氣體監(jiān)測儀IR-422
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IR-400 可在沉積過程中實時監(jiān)測腔室清洗終點。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。
概要
多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
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高靈敏度
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氣室加熱功能*高可達 180℃
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多重顯示
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模擬/數(shù)字通信
IR-400 實時終點監(jiān)測的優(yōu)勢
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減少腔室清洗時間
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減少清洗氣體使用量
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可重復和可預測的清洗過程
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延長腔室組件壽命
應用示例
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監(jiān)控室排氣管線
測量技術
可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）
IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進行對比，并將結果轉換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩(wěn)定的測量結果。
光學系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測器組成。雙光束檢測器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗證。
配置
