HORIBA堀場制作所 四極質(zhì)分析器QL-SG02-300-1A

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MICROPOLE系統(tǒng)是*小的質(zhì)譜儀系統(tǒng)之一，易于安裝。該系統(tǒng)被證明是許多腔室表征應(yīng)用的理想解決方案。緊湊的尺寸是由**設(shè)計(jì)的微型陣列的四極質(zhì)量過濾器。該系統(tǒng)能夠在比傳統(tǒng)系統(tǒng)高得多的壓力下工作，因此減少了對額外差壓泵設(shè)備的需求。

概要

非常緊湊的尺寸和重量輕

與傳統(tǒng)殘余氣體分析儀相比，尺寸為1/20，易于集成到任何系統(tǒng)

高性能

由9個(gè)四極桿組成的迷你陣列在傳統(tǒng)四極桿體積的一小部分上提供了出色的靈敏度

高壓操作

可在高達(dá)0.9Pa （7mTorr, 9 x 10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應(yīng)用中昂貴的真空泵

可互換的傳感器頭校準(zhǔn)

傳感器頭在發(fā)貨前進(jìn)行預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)，允許用戶在現(xiàn)場進(jìn)行傳感器更改，而無需微調(diào)或技術(shù)專業(yè)知識

網(wǎng)絡(luò)傳感器

使用RS-485，一臺PC可以監(jiān)控多達(dá)8個(gè)傳感器。通過外部I/O進(jìn)行無pc掃描操作也是可能的。

用戶友好的軟件

Micropole Scanner?2軟件允許用戶在各種模式下監(jiān)測氣體的分壓，例如趨勢圖，頻譜圖，條形圖。