HORIBA堀場 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀
- 產品名稱：HORIBA堀場 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀
- 產品型號：MICROPOLE
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產品文檔：
HORIBA堀場 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀MICROPOLE
HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀MICROPOLE
HORIBA堀場制作所 緊湊型工藝氣體監(jiān)測儀MICROPOLE
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輕型緊湊尺寸
尺寸僅為傳統(tǒng)殘余氣體分析儀的 1/20，易于集成到任何系統(tǒng)中 -
高性能
9 個四極桿的微型陣列體積僅為傳統(tǒng)四極桿體積的一小部分，可提供出色的靈敏度 -
高壓操作
可在高達 0.9Pa（7mTorr，9×10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應用中昂貴的真空泵 -
校準中可互換的傳感頭
傳感頭在裝運前經過預調和預校準，允許用戶在現(xiàn)場進行傳感器更改，而無需微調或使用專業(yè)技術 -
網絡傳感器
使用 RS-485 可讓一臺電腦監(jiān)控高達 8 個傳感器。這些系統(tǒng)也可以通過以太網進行遠程監(jiān)控 -
用戶友好軟件
Micropole Scanner? 軟件允許用戶以各種模式監(jiān)測氣體分壓，例如趨勢圖、模擬圖、泄漏模式、條形圖、3D 圖等 -
監(jiān)測儀控制器
選配的監(jiān)測儀控制器可用于直接安裝在光譜發(fā)生器上的真空室，用戶無需電腦即可監(jiān)控真空室
測量原理
體監(jiān)測儀由離子源、質譜儀和測量部分組成。當殘余氣體與高溫燈絲釋放的熱電子碰撞時，殘余氣體被電離，由此產生的離子加速并匯聚到質譜儀上。在質譜儀中，直流和交流電壓被施加到四個圓柱形電極（四極桿）上，通過質量來分離離子。分離的離子被法拉第杯檢測為電流。離子電流與殘余氣體的質量（分壓）成正比。
MICROPOLETM 分析儀
MICROPOLETM 系統(tǒng)的特點之處就在于其采用 MICROPOLETM 分析儀（MPA）；九個四極桿的陣列充分利用超精密光學蝕刻加工技術和玻璃/金屬接合技術。MPA 的研發(fā)成功制造了殘余氣體分析儀，同時提供與傳統(tǒng)大型質譜儀相同或更好的靈敏度。該分析儀是一個插件。它配有一個已針對分壓進行校準的傳感器單元，并提供總壓和分壓測量。
