容器組件
HORIBA堀場制作所 電容壓力計
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場制作所 電容壓力計
- 產(chǎn)品型號：VG-200
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
HORIBA堀場制作所 電容壓力計
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200
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VG 系列電容式壓力計尺寸緊湊，采用全金屬設計，可選配自動溫度調(diào)節(jié)功能。
概要
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緊湊型自加熱設計
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電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性
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鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性
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設定點輸出（2 點）
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警報輸出
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通過專用軟件調(diào)整量程
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一鍵歸零
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電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電
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符合 CE 認證標準和 RoHS 標準
技術論文
電容薄膜真空計研發(fā) (1.3MB)
摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體，而制程壓力對產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大，因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計。為滿足這些要求，HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計“VG-200 系列”，性能評估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評估結(jié)果。"
